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氧化锌(ZnO)透明导电膜

关键词
热门产品/
平板显示器用/
氧化锌/
ITO膜/
可试制
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不使用稀有金属的透明导电膜

氧化锌(ZnO)材料资源丰富,且作为透明电极的性能优越,因此作为使用稀有金属的平板用ITO(掺Sn氧化铟)膜的替代材料受到广泛的关注。另外,氧化锌在透明性和表面平坦性方面具有比ITO更为优越的特性,可望拓展新的应用。本公司采用溅射法,可支持GZO(掺Ga ZnO)和AZO(掺Al ZnO)的成膜。

产品结构和优势

ZnO由于锌(Zn)资源丰富,且作为透明电极的性能优越,作为平板显示器用ITO膜的替代材料受到广泛的关注。

ITO、GZO、AZO的特性

膜种类 PET薄膜上 玻璃基板上
片电阻
(Ω/sq)
电阻率
(Ω・cm)
透过率
(400~700nm平均值,%)
片电阻
(Ω/sq)
电阻率
(Ω・cm)
透过率(400~700nm平均值,%)
ITO 26 3.9E-04 81.2 8 1.3E-04 84.0
GZO 45 6.0E-04 86.8 21 3.2E-04 87.5
AZO 81 1.2E-03 86.3 37 5.5E-04 85.7

主要使用用途

平板显示器等的透明电极膜等

在透明性和表面平坦性方面具有比ITO更为优越的特性

在PER上成膜的ITO和GZO的分光特性

GZO膜的表面形状比较

  • GZO膜
  • ITO膜

ITO、GZO、AZO的特性

膜种类 PET薄膜上 玻璃基板上
片电阻
(Ω/sq)
电阻率
(Ω・cm)
透过率
(%)
片电阻
(Ω / sq)
电阻率
(Ω・cm)
透过率
(%)
ITO 26 3.9E-04 81.2 8 1.3E-04 84.0
GZO 45 6.0E-04 86.8 21 3.2E-04 87.5
AZO 81 1.2E-03 86.3 37 5.5E-04 85.7
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