根据用途提供相应的透明导电膜。低电阻、高透明度的ITO膜就选择吉奥马科技

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金属电极膜、金属反射膜

关键词
热门产品/
低反射铬遮光膜/
Ni合金 低反射遮光膜/
黑矩阵/
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丰富的金属膜种类

吉奥马科技保有各种各样的金属物质材料,力求做到回应客户需求的产品支持。
提供用于FPD的各种金属膜,例如为提高显示质量(精细彩色化、高速响应),将ITO与电阻值低的金属膜组合。

金属膜一览

物质 薄膜的电阻率(μΩ・cm) 成本 玻璃附着性 湿法蚀刻性能 问题点
Cr 20 圆圈 三角 圆圈 存在环境问题
说明 该物质可靠性、加工性优越,极易使用。
但膜应力大,环境上存在的问题受到关注。
另外,电阻也不算低,不太适合低电阻规格。
Mo 13 三角 圆圈 圆圈 耐水性差
说明 电阻较低,加工性良好。
但耐水性极差,可靠性存在问题。
Al 4 圆圈 三角 圆圈 耐碱性差
说明 -
Ta 180 三角 叉号 叉号 不能湿法蚀刻,
β-Ta电阻率高
说明

该物质可靠性高,极为稳定,但玻璃附着性差,湿法蚀刻性能也存在问题。一般而言使用β-Ta,但由于电阻较高,低电阻品使用α-Ta。

电阻率 β-Ta :180μΩ・cm
α-Ta: 25μΩ・cm
Cu 2 圆圈 叉号 圆圈 耐热性差
说明 该物质电阻率低,电特性良好,但玻璃附着性差,膜氧化迅速,因此耐热变化大。
难以单层使用,需要考虑以层压或制成合金的方式使用。
Ti 70 圆圈 圆圈 三角 电阻率高
说明 -
Ni 16 圆圈 叉号 三角 磁体难以处理
说明 由于是磁性材料,不太适合溅射,但只要管理目标板厚就可以使用。
玻璃附着性差,不能单层使用。可用磷酸、硝酸的混合液进行蚀刻,因此可望用于Al合金和Ag合金的保护膜。
Mo合金 18左右 三角 圆圈 圆圈 耐水性差
说明 该物质保持Pure-Mo的特性,并改善了问题点。
通过制成合金,比Pure-Mo的电阻率略高。
Al合金 7左右 圆圈 圆圈 圆圈 与ITO接触时发生电偶腐蚀
说明 该物质电阻率良好,且成本低廉。
但耐碱性极差,可靠性存在问题。
另外,与ITO膜直接接触时,Al与ITO的电位差较大,会引起电偶腐蚀。
Ag合金 3.5左右 叉号 三角 三角 耐UV性差
说明 由于高反射且电阻低,用于反射电极材料。
但加工性差,耐UV性也不佳,因此只有特定用户使用,并未广泛普及。
然而,今后如果低电阻化进一步发展,将成为最受期待的物质。

反射膜一览

表为一例。
通过实现成膜物质和成膜条件的最佳化,回应客户的要求。

物质 特征和图表
Al

标准的Al单层膜。

Al+保护涂层(AlSiO2)

该膜镀上了SiO2作为Al的保护膜。

Al高反射

在可见光区反射率可达到平坦。但是,与四层增反射相比,峰值较低。

Al超高反射

可将特定波长的反射率提高至极限。

Al合金(AlNd)

该膜与Al+SiO2同样镀上了SiO2作为保护膜。

Ag合金(APC-TR)

该膜将Ag制成合金,实现了比Ag单层膜更高的耐药性。

Ag合金(ACA-HR)

目前能最大限度地在可见光区提高反射率。

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